YYVIP易游MKS申请用于质量流量控制器的自动自我校准方法和装置专利校准第二流量感测器

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　　国家知识产权局信息显示，MKS股份有限公司申请一项名为“用于质量流量控制器的自动自我校准的方法和装置”的专利，公开号CN121311741A，申请日期为2024年8月。

　　专利摘要显示，本发明提供一种质量流量控制器及一种提供质量流量控制的方法。一种质量流量控制器包括控制阀，该控制阀配置成控制在流动路径中流体的流量。第一流量感测器侦测第一组流体流量参数，且第二流量感测器侦测第二组流体流量参数。该第一流量感测器及该第二流量感测器为相异的流量测量类型。该质量流量控制器进一步包括控制器，该控制器配置成基于借由该第一流量感测器侦测到的该第一组流体流量参数而决定一组第一质量流量率，且基于第一质量流量感测器的所决定的该组质量流量率以及该第二组流体流量参数来校准该第二流量感测器。

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